LayTec主要在開發,製造與銷售光學的現場和線上薄膜製造測量系統。我們的系統是明確設計與致力於提供領先的薄膜測量解決方案。我們與生產線終端客戶,設備製造商和主要的研究機構密切的合作以達到最先進的薄膜製程分析和控制。
沉積製程上即時的控制能力提供了重要的好處:製程偏差可快速確認與修正,加速開發週期,新產線建立過程中的技轉與量產變的更加容易且在保養維護後參數的重新設定也將變得更容易。這一切都增加了更大產能和降低成本,從另個角度來看,也使全球的產業更有效率,產能更高,在能源和資源消耗方面也更有效率。此外,LayTec公司的計量工具在研究機構的一些研發實驗室中新材料,製程和元件結構開發也扮演著重要的腳色。
我們在整合計量技術上的領先地位使我們成為那些主要的薄膜客戶可以信賴的合作夥伴 - 不關什麼特殊的薄膜設備,客戶都決定使用我們的計量設備。
EddY
渦流系統提供薄膜在沉積時的無接觸即時監測,例如使用高速渦電流測量透明導電氧化物。它提供了全面的電導率/片電阻分析。該系統的特徵是所有導電性薄膜包括氧化鋅(ZnO),氧化銦錫(ITO)等透明導電氧化物。
其他應用是金屬層的厚度或片電阻測量,或關於多層碳纖維織物排片,方向,缺失束,或皺摺。
Eddy可以整合在任何生產線。真空室的線上分析導電性質可以到達100%的覆蓋率。多達16個磁頭可以被組合以使即使是在大型的玻璃基板橫向緊密空間的檢查。
LayTec公司可以很容易地調整系統,以符合客戶所需的測量範圍和力度。Eddy具有低和高導電性薄膜的品質控制,尤其在透明導電氧化物電阻率監測可由0.01到1000 ?/sq以及5nm的厚度測量。